超高分辨场发射扫描电子显微镜
仪器简介
日立SU8010冷场发射扫描电子显微镜是先进的微纳结构观察与分析的高分辨精密仪器，是兼具超高分辨率、优异低电压性能和智能操作便捷性的成像系统。经过创新的探测器设计和电子光学系统优化，不仅提高了以更高信噪比探测样品表面超微细节，在导电性差或电子束敏感样品分析需求下轻松实现高衬度、低损伤的清晰成像与快速元素分析，同时也提供了更直观的自动化功能选择，实验过程中可高效获取更清晰全面的显微图像与成分信息。
仪器型号
日立/SU8010
技术参数
1、二次电子分辨率：
1.0 nm (加速电压 15 kV、WD=4 mm)
1.3 nm (着陆电压 1 kV、WD=1.5 mm)
放大倍数：
低倍模式：20~2,000X（照片倍率）
80~5,000X（实际显示倍率）
高倍模式：100~800,000X（照片倍率）
400~2,000,000X（实际显示倍率）
2、电子光学：
电子枪 冷阴极场发射电子枪
加速电压 0.5 ~30 kV（标准模式）
着落电压 0.1~2.0 kV (减速模式)
透镜系统 3级电磁透镜
物镜光阑 可动光阑（加热型），真空外4孔转换机微调
消象散 8级电磁模式（X、Y）
扫描线圈 2级电磁偏转模式
1.0 nm (加速电压 15 kV、WD=4 mm)
1.3 nm (着陆电压 1 kV、WD=1.5 mm)
放大倍数：
低倍模式：20~2,000X（照片倍率）
80~5,000X（实际显示倍率）
高倍模式：100~800,000X（照片倍率）
400~2,000,000X（实际显示倍率）
2、电子光学：
电子枪 冷阴极场发射电子枪
加速电压 0.5 ~30 kV（标准模式）
着落电压 0.1~2.0 kV (减速模式)
透镜系统 3级电磁透镜
物镜光阑 可动光阑（加热型），真空外4孔转换机微调
消象散 8级电磁模式（X、Y）
扫描线圈 2级电磁偏转模式
仪器附件
无
主要功能
1、二次电子模式
2、背散射电子模式
3、EDS测试
2、背散射电子模式
3、EDS测试
主要应用
该仪器可在纳米尺度对导电或非导电的固体样品（包括粉末、薄膜、块材、生物样品、高分子材料等）进行超高分辨率二次电子像、背散射电子像、元素成分分析的测量，可用于化学、材料科学、金属材料、非金属材料、纳米材料、半导体材料与器件研究、工业研究、新能源研究等领域。
联系方式
