冷场发射扫描电子显微镜
仪器型号
SEM4800，厂家：日立/日本
技术参数
1、分辨率：1.0nm (15kV)，2.0nm (1kV)，1.4nm(1KV，减速功能)；
2、有效放大倍数：×30～ ×300,000 ；
3、加速电压：0.1 kV ～ 20kv（标准模式）；
4、减速模式：着陆电压为 0.1～2.0 kV
4、束流强度：1pA～2nA
5、能谱分辨率：不低于133eV
6、分析元素范围：Be4-U92，具有点、线、面分析功能。
2、有效放大倍数：×30～ ×300,000 ；
3、加速电压：0.1 kV ～ 20kv（标准模式）；
4、减速模式：着陆电压为 0.1～2.0 kV
4、束流强度：1pA～2nA
5、能谱分辨率：不低于133eV
6、分析元素范围：Be4-U92，具有点、线、面分析功能。
主要功能
配有二次电子/背散射/STEM探头，可进行形貌/结构/透射图像分析；配有EDS探头可进行元素的定性和半定量分析, 具有点、线、面分析功能。
主要应用
扫描电镜是材料表面形貌分析的主要仪器之一，已广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、资料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域。冷场要求高真空工作条件。利用聚焦电子束扫描样品表面，收集二次电子/背散射电子成像，分别得到形貌衬度/原子序数衬度的电子像，可进行形貌与结构分析。配有能谱分析仪，可进行元素的定性和半定量分析。
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